• 預烤爐

    • 以板式加熱器對於置放於金屬上板上之基板進行加熱。
    • 溫度精度: 60~150 ±3.0℃(內)
    • 適用基板大小: 200(W)*200(L)mm~ 3000(W)*3000(L)mm, t=0.2~1.0mm

  • 水冷式冷卻板

    • 以水冷式冷卻板對於置放於金屬上板上之基板進行冷卻。
    • 溫度精度: 20~30 ±3.0℃(內)
    • 適用基板大小: 200(W)*200(L)mm~ 3000(W)*3000(L)mm, t=0.2~1.0mm

  • 金屬板表面處理

    • 對金屬板表面施以陽極處理,鐵氟龍塗層等處理。
    • 加工精度: 平面度±0.3mm以內
    • 適用金屬板大小: 200(W)*200(L)mm~ 3000(W)*3000(L)mm, t=10~50mm

  • 金屬板下方增設多溫控區改造

    • 可於金屬板下方藉由裝設多個平板加熱器以達到更精準的溫度控制。
    • 溫度精度: 60~150 ±3.0℃(內)
    • 可裝設溫控區: 1~100 Zones
    • 適用金屬板大小: 200(W)*200(L)mm~ 3000(W)*3000(L)mm, t=10~50mm

  • 增設紅外線控溫模組改造

    • 可於基板上方增設紅外線控溫模組(陶瓷板或燈管)以方便對基板進行加熱
    • 溫度精度: 60~150 ±10℃(內)
    • 可裝設溫控區: 1~100 Zones
    • 適用基板大小: 200(W)*200(L)mm~ 3000(W)*3000(L)mm, t=0.2~1.0mm

  • 增設熱風溫控模組改造

    • 可於密閉腔體外增設熱風模組以改善腔體內昇華物沉積。
    • 溫度精度: 60~150 ±5℃(內)
    • 熱風流量: 1~2000 L/min
    • 適用基板大小: 200(W)*200(L)mm~ 3000(W)*3000(L)mm, t=0.2~1.0mm

  • 整廠(線)製程設備移置作業

    • 提供包含拆機,移機,包裝,運輸,規劃等一站式服務
    • A區移機至B區由可全委託或部份委託ATK處理,有任何問題歡迎隨時來電諮詢