產品介紹

• 以板式加熱器對於置放於金屬上板上之基板進行加熱。
• 溫度精度: 60~150 ±3.0℃(內)
• 適用基板大小: 200(W)*200(L)mm~ 3000(W)*3000(L)mm, t=0.2~1.0mm

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• 以水冷式冷卻板對於置放於金屬上板上之基板進行冷卻。
• 溫度精度: 20~30 ±3.0℃(內)
• 適用基板大小: 200(W)*200(L)mm~ 3000(W)*3000(L)mm, t=0.2~1.0mm

• 對金屬板表面施以陽極處理，鐵氟龍塗層等處理。
• 加工精度: 平面度±0.3mm以內
• 適用金屬板大小: 200(W)*200(L)mm~ 3000(W)*3000(L)mm, t=10~50mm

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• 可於金屬板下方藉由裝設多個平板加熱器以達到更精準的溫度控制。
• 溫度精度: 60~150 ±3.0℃(內)
• 可裝設溫控區: 1~100 Zones
• 適用金屬板大小: 200(W)*200(L)mm~ 3000(W)*3000(L)mm, t=10~50mm

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• 可於基板上方增設紅外線控溫模組(陶瓷板或燈管)以方便對基板進行加熱
• 溫度精度: 60~150 ±10℃(內)
• 可裝設溫控區: 1~100 Zones
• 適用基板大小: 200(W)*200(L)mm~ 3000(W)*3000(L)mm, t=0.2~1.0mm

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• 可於密閉腔體外增設熱風模組以改善腔體內昇華物沉積。
• 溫度精度: 60~150 ±5℃(內)
• 熱風流量: 1~2000 L/min
• 適用基板大小: 200(W)*200(L)mm~ 3000(W)*3000(L)mm, t=0.2~1.0mm

• 提供包含拆機，移機，包裝，運輸，規劃等一站式服務
• A區移機至B區由可全委託或部份委託ATK處理，有任何問題歡迎隨時來電諮詢